Lugar de origem:
China
Marca:
KACISE
Certificação:
CE
Número do modelo:
KGD-MQ-537
Atributo | Valor |
---|---|
Princípio de detecção | NDIR |
Gases detectados | SiF4, CF4, SF6, NF3, CO2 |
Faixa de medição | 1 - 264 ppm (0 - 200 mTorr) |
Repetitividade | ± 0,5% |
Linearidade | ± 1% F.S. |
Limite de detecção | 1 ppm |
O sensor de gases infravermelhos KGD - MQ - 537 baseia-se na tecnologia de infravermelho não dispersivo (NDIR). Pode medir com precisão gases como SiF4, CF4, SF6, NF3,e CO2 gerados em aplicações de semicondutoresÉ compatível com as dimensões pré-definidas comuns, flanges e protocolos de comunicação dentro do equipamento. Pode ser usado para detecção de ponto final em processos de deposição e limpeza de semicondutores,bem como detecção de terminais para limpeza de câmara, ajudando a reduzir o tempo de limpeza, reduzir os custos e aumentar a produção.
Parâmetro | Detalhes |
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Princípio de detecção | NDIR |
Gases detectados | SiF4, CF4, SF6, NF3, CO2 |
Faixa de medição | 1 - 264 ppm (0 - 200 mTorr) |
Repetitividade | ± 0,5% |
Linearidade | ± 1% F.S. |
Limite de detecção | 1 ppm |
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