Lugar de origem:
China
Marca:
KACISE
Certificação:
CE
Número do modelo:
KGD-MQ-537
Sensor de gás infravermelho KGD - MQ - 537
Introdução ao produto
O sensor de gás infravermelho KGD-MQ-537 baseia-se na tecnologia de infravermelho não dispersivo (NDIR).e CO2 gerados em aplicações de semicondutoresÉ compatível com dimensões pré-definidas comuns, flanges e protocolos de comunicação dentro do equipamento. Pode ser usado para detecção de ponto final em processos de deposição e limpeza de semicondutores,bem como detecção de terminais para limpeza de câmara, ajudando a reduzir o tempo de limpeza, reduzir os custos e aumentar a produção.
Características do produto
Parâmetros técnicos
Parâmetro | Detalhes |
Princípio de detecção | NDIR |
Gases detectados | SiF4, CF4, SF6, NF3, CO2 |
Faixa de medição | 1 - 264 ppm (0 - 200 mTorr) |
Repetitividade | ± 0,5% |
Linearidade | ± 1% F.S. |
Limite de detecção | 1 ppm |
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