Lugar de origem:
China
Marca:
KACISE
Certificação:
CE
Número do modelo:
KGD-MQ-537
O sensor de gás infravermelho KGD-MQ-537 utiliza a tecnologia de infravermelho não dispersivo (NDIR) para medir com precisão gases, incluindo SiF4, CF4, SF6, NF3 e CO2 em aplicações de semicondutores.Projeto com compatibilidade com as dimensões comuns do equipamento, flanges e protocolos de comunicação, este sensor é ideal para detecção de pontos finais em processos de deposição e limpeza de semicondutores, bem como detecção de terminais para limpeza de câmara,ajudando a reduzir o tempo de limpeza, reduzir custos e aumentar a produção.
| Parâmetro | Detalhes |
|---|---|
| Princípio de detecção | NDIR |
| Gases detectados | SiF4, CF4, SF6, NF3, CO2 |
| Faixa de medição | 1-264 ppm (0-200 mTorr) |
| Repetitividade | ± 0,5% |
| Linearidade | ± 1% F.S. |
| Limite de detecção | 1 ppm |
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